超臨界萃取技術(shù)是現(xiàn)代化工分離技術(shù)的 新學(xué)科，是目前上興起的一種*的分離工藝。超臨界萃取是指在一定的壓力、合適的溫度下，在萃取缸中，溶劑與被萃取物充分接觸，溶質(zhì)擴散到溶劑中，再在分離器中改變工作條件，使溶解物質(zhì)析出，以達(dá)到分離的目的。
超臨界萃取有如下特點：
1、 萃取溫度低，制品不會被分解。
2、 對溫度和壓力的精確控制，可以實現(xiàn)有選擇的萃取。
3、 制品中無溶劑殘留。
4、 溶劑可以循環(huán)使用。
5、 無環(huán)境污染。
超臨界流體萃取技術(shù)以CO2 作為溶媒，其優(yōu)點：
1、 CO2 的超臨界狀態(tài)容易實現(xiàn)。
2、 對食品和藥品無毒性污染。
3、 有防止細(xì)菌活動的作用。
4、 不易燃燒，化學(xué)穩(wěn)定性好。
5、 價格低廉，經(jīng)濟性好。
該超臨界清洗裝置主要是應(yīng)用超臨界CO2萃取原理來實現(xiàn)對半導(dǎo)體硅片的清洗。
裝置特點：
1、工藝方面：
（1） 能滿足超臨界二氧化碳（Tc≥31.06℃、Pc≥7.39MPa）的間歇式工作條件，二氧化碳可循環(huán)利用。
（2） 在清洗器前設(shè)計了混合器，可使CO2進入清洗器前充分的與夾帶劑預(yù)混。
（3） 清洗器堵蓋上設(shè)計了一個快開式觀察孔，可方便觀察。
（4） 清洗器后的管路上，通過一級、二級過濾分離裝置實現(xiàn)了氣、液、渣的分離，確保了系統(tǒng)管路暢通、不堵塞。
（5） 一級、二級分離裝置均設(shè)計有水夾套及外保溫裝置，采用兩套恒溫水浴及低溫冷卻液來控制來控制一級、二級分離器的溫度，并確保了 終出來的CO2成為氣態(tài)被回收再利用。
（6） 清洗器設(shè)置了獨立的內(nèi)加熱裝置和低溫冷水循環(huán)系統(tǒng)，溫度在-15℃-200℃范圍內(nèi)可調(diào)。
2、控制系統(tǒng)方面：
（1） 清洗器、一級分離裝置、二級分離裝置等關(guān)鍵監(jiān)測點的壓力、溫度設(shè)計了壓力傳感器和溫度探頭以及帶通訊口的數(shù)顯二次儀表，可實現(xiàn)與計算機聯(lián)網(wǎng)，由計算機實時監(jiān)控并記錄。
（2） 二氧化碳泵及夾帶劑泵自帶流量顯示功能，可與計算機聯(lián)網(wǎng)，及時采集和控制CO2和夾帶劑的流量，可實現(xiàn)計算機實時監(jiān)控。
（4）在清洗器后設(shè)計了手動背壓閥，可精確控制清洗器的壓力。
3、安全保護方面：
（1） 清洗器、一、二級分離器上均設(shè)計了安全閥。
（2） 二氧化碳的排氣設(shè)計了匯氣排，可統(tǒng)一排放到外界控制去，靜化了室內(nèi)空氣，又減少了室內(nèi)放氣的噪音。
二、主要技術(shù)參數(shù)： 
1、 裝置 大工作壓力： 15Mpa；
2、 裝置工作溫度范圍：-15—200℃
3、 CO2泵 大流量：60mL/min， 大壓力15Mpa
4、 夾帶劑泵 大流量：20mL/min， 大壓力15Mpa
5、 5、視窗窗口：φ30mm。
6、 6、壓力測試量程16MPa、壓力傳感器精度0.25級；
7、 9、設(shè)備及控制系統(tǒng)均需可靠接地，接地電阻小于4歐姆。
8、 10、總功率：10KW